无尘车间的清洁通常要搞五道，只有经过这五道的清洁才能达到较好的清洁效果。

一、将无尘车间内的垃圾、无用物品等全部清理出无尘车间。然后进行清洁，清洁首先对天花板进行开始，通常是用湿抹布对天花板进行清洁，然后再用干抹布擦干清洁。天花板清洁完毕后再进行隔墙的清洁，条件允许可以采用水冲洗的办法进行清洗，条件不允许(有开关、插座的地方)可以采用湿抹布进行清洁，再用干抹布擦干。最后对地面进行清洁，地面通常用水进行冲洗，冲洗由里至外的路线进行，冲洗完毕应清理地面的积水。在整个清洗过程中，所有清洁工具及人员必须干净，所有的水源必须经常更换，以防止二次污染。整个过程中防止存在卫生死角不作清洁(例如回风柱、生产设备、衣柜等地方)。对不易清洁的地方可用洗洁精等进行辅助清洁。

二、重复第一次过程，不过应更加注重仔细。确保无尘车间内没有可见灰尘及污迹。

三、所有清洁人员须穿着洁净服并严格按照无尘车间的使用办法进入无尘车间进行清洁，所有抹布改为无尘抹布进行清洁。清洁完毕，确保无尘车间一尘不染。

四、重复第三次的办法

五、所有清洁人员须穿着洁净服并严格按照无尘车间的使用办法进入无尘车间进行清洁，所有抹布改为无尘抹布进行清洁。整个无尘车间及无尘车间内的设备等均用75%的酒精进行消毒。

最后，所有人员退出无尘车间，并锁好门并开启空调机(可不开冷气只开通风)及开启紫外线灯。空调运行四十八小时后经检测合格后可以进行生产。

进入无尘车间注意事项：

1、在洁净室内走动时动作宜轻不得奔跑，以避免影响层流。

2、在洁净室内工作，若暂停操作时不可以脱口罩及手套做短暂休息。

3、进入洁净室时须先经过洗尘室。

4、进入洁净室工作人员必须穿着合身之无尘衣服及鞋子。

5、设备维修如有必要坐、卧或躺时，须于地上铺上专有之塑料布。

6、脱除无尘衣须先脱除：口罩、无尘鞋、无尘衣、发罩、手套、并依标示分类摆放或丢弃。

7、口罩的正确扣戴方式是以无尘衣头罩后面上方扣带扣戴。

8、洁净室工作人员不可携带非无尘笔记本进入洁净室。

9、洁净室内不得使用铅笔、书写一律使用原子笔，书写错误时也不可以用修正液修改。

10、着无尘衣之要求是遮口遮鼻、头发不得外露、衣袖、口须包住手套口、避免手腕外露。

11、洁净室内高架地板不可随意拉启，以免影响层流及人员安全。